对真空容器壳体及内部零件材料的要求

①有足够的机械强度和刚度来保证壳体的承压能力。

②气密性好。要保持一个完好的真空环境，器壁材料不应存在多孔结构、裂纹或形成渗漏的其它缺陷。有较低的渗透速率和出气速率。

③在工作温度和烘烤温度下的饱和蒸气压要足够低(对超高真空系统来说尤其重要)。

④化学稳定性好。不易氧化和腐蚀，不与真空系统中的工作介质及工艺过程中的放气发生化学反应。

⑤热稳定性好。在系统的工作温度(高温与低温)范围内，保持良好的真空性能和机械性能。

⑥在工作真空度及工作温度下，真空容器内部器件应保持良好的工作性能，满足作业工艺的要求。

⑦有较好机械加工性能及焊接性能。

对密封材料的要求

①有足够低的饱和蒸气压。一般低真空时，其室温下的饱和蒸气压力应小于1.3×10-1～1.3×10-2Pa。高真空时，应小于1.3×10-3~1.3×10-5Pa。

②化学及热稳定性好。在密封部位，不因合理的温升雨发生软化，发生化学反应或挥发，甚至被大气冲破。

③有一定的机械及物理性能。冷却后硬化的固态密封材料、可塑密封材料或干燥后硬化的封蜡等，要能够平滑地紧贴密封表面，无气泡、无皱纹。当温度变化时，不应变脆或裂开。液态或胶态密封材料应保持原有粘性。

④某些密封材料应能溶于某些溶剂中，以便更换时易于清洗掉。

对真空中应用的材料除上述要求外，在某些情况下还必须考虑其电学性能、绝缘性能、光学性能、磁性能和导热性能等等。

当然，除了材料的以上性能外，还要考虑材料的成本、利用率及选购的可能性等。