各种真空泵的极限真空度如下：

·机械泵。机械泵一般能达到10^-3Pa的极限真空度。

·扩散泵。扩散泵能够达到10^-7Pa的极限真空度，其中水环式扩散泵可达到10^-1Pa的高真空度。

·离子泵。离子泵能够达到10^-9Pa的超高真空度，真空度可以达到10^-11Pa。

·分子泵。分子泵能够达到10^-10Pa的超高真空度，甚至能够达到更低的10^-11Pa或者更高的10^-8Pa。

·涡轮分子泵。涡轮分子泵的极限真空度可以达到10^-10Pa。

·旋片式机械真空泵。旋片式机械真空泵的极限真空度在10^-1Pa左右。

·罗茨泵。罗茨泵的极限真空度在10^-2Pa左右。

·油扩散泵。油扩散泵的极限真空度在10^-6Pa。

·低温吸附泵。低温吸附泵的极限真空度在10^-1Pa到10^-8Pa之间，取决于所采用的低温温度、吸附物质的表面积、被吸附气体的种类等因素。

·溅射离子泵。溅射离子泵的极限真空度与其他泵种串联使用，可达10^-8Pa。

需要注意的是，这些极限真空度是在没有负载的条件下获得的真空度，实际应用中可能受到多种因素的影响。