普发分子泵（Pfeiffer Molecular Pumps）是由德国普发真空（Pfeiffer Vacuum）公司制造的一系列高性能涡轮分子泵，广泛应用于需要创造和维持极高真空环境的各种高科技领域，如科学研究、半导体制造、镀膜技术、分析仪器、以及其它精密工业应用。以下是对普发分子泵的主要特点、技术优势以及典型应用场景的简介：

技术特点与优势：

超高真空性能：普发分子泵能够创造出相对压力低于10^-8 Pa的超高真空环境，这对于需要极低气体残留的精密实验和工艺流程至关重要。

高效抽速：产品线覆盖了广泛的抽速范围，从10升/秒（l/s）至3000升/秒，以适应不同规模和要求的真空系统。例如，HiPace 1800型号的抽速可达1450 l/s，而HiPace 60P型号的抽速为64 l/s。

高转速与低返流：普发分子泵采用先进的涡轮叶片设计，实现超过400米/秒的圆周速度，确保高效的气体传输和压缩。这有助于在泵内形成深度真空，并降低气体返流至前级泵的可能性。

稳定性和耐用性：具备出色的机械结构和耐受力，泵外壳经过严格设计和，确保在高速运转下的安全性。例如，通过UL 61010和/或Semi S2，表明其符合严格的机械安全标准，同时具有防火和转速过高的双重保护。

综合自我保护机制：内置多种自我保护功能，如过热保护、转速监控等，以保障泵的长期稳定运行和故障预防。

环境适应性强：对环境温度、震动、磁场等外部因素影响较小，使得普发分子泵能够在多种工作条件下保持良好性能，降低了对使用环境的苛刻要求。

防腐蚀与耐蒸汽：针对特定应用，普发提供防腐蚀型号，能够处理腐蚀性气体和蒸汽，满足特殊实验或生产工艺中对腐蚀防护的需求。

模块化设计与灵活性：分子泵设计紧凑，易于集成到现有系统中。部分型号支持360°任意角度安装，且可配置小型前级泵，以降低整个系统的复杂度和成本。此外，如HiPace 80 Neo等型号还采用了分流式设计（SplitFlow），增加了操作的灵活性。

易于维护与可靠性：普发分子泵通常具有长寿命和低维护需求，部分型号集成氮气吹扫阀，便于清洁和维护。长期稳定性好，降低了客户的维护成本和停机时间。

应用场景：

科学研究：在物理、化学、材料科学等领域，用于搭建高真空实验装置，如质谱分析、表面科学仪器、粒子加速器等。

半导体制造：在芯片制造过程中，为光刻、沉积、刻蚀等关键步骤提供所需的超洁净真空环境。

镀膜技术：在光学元件、太阳能电池、显示器等产品的薄膜沉积工艺中，保证高质量的薄膜生长条件。

分析仪器：作为比表面孔径分析仪等精密测量设备的部件，确保测量结果的准确性。

工业应用：如电子束焊接、真空干燥、真空包装等，以及任何需要高真空度以避免氧化、污染或其他气体干扰的生产过程。

综上所述，普发分子泵凭借其卓越的真空性能、可靠性、适应性和易用性，在众多需要极高真空度的领域中扮演着不可或缺的角色。德国普发真空作为全球分子泵领域的，持续创新并提供满足不同客户需求的定制化解决方案。

北京帕托真空技术有限公司