9月2日，工业和信息化部公示了第六批国家级专精特新“小巨人”企业名单。晶盛机电子公司浙江美晶新材料股份有限公司（以下简称“美晶新材”）和浙江求是半导体设备有限公司（以下简称“求是半导体”）成功入选国家级专精特新“小巨人”企业。

“专精特新”，是指专业化、精细化、特色化、创新能力突出的中小企业，而国家级专精特新“小巨人”企业是工信部构建的优质中小企业梯度培育体系的金字塔尖，是“专精特新”中小企业中的佼佼者，是专注于细分市场、创新能力强、市场占有率高、掌握关键核心技术、质量效益优的排头兵企业。截至目前，晶盛机电已有包括晶鸿精密、慧翔电液、中为光电在内的5家子公司入选。

美晶新材

致力于成为全球石英制品制备技术领跑者

■美晶新材生产的石英坩埚怕

作为晶盛机电控股子公司，美晶新材响应国家集成电路产业高质量发展的战略需求，从实现满足各尺寸单晶硅棒拉制的需求等研究目标着手，通过关键技术研究和创新，解决半导体级和光伏级石英坩埚国产化的行业难题，是国内首个实现光伏级40英寸及以上石英坩埚自动化生产企业，突破石英坩埚卡脖子技术瓶颈，半导体和光伏国内市占率第一。

美晶新材坚持以技术创新为核心驱动力，不断优化升级太阳能级和半导体级单晶石英坩埚的制备技术和产品品质，建立自动化数字化生产线，以自研的MES系统为依托，与坩埚生产的工艺融合，实现智能制造和绿色制造。同时，对标行业同类产品标准，满足客户定制需求，为全球客户提供高品质精准服务，致力于打造技术领先、产品领先的国际化石英制品制造企业。

求是半导体作为晶盛机电全资子公司，专注于碳化硅外延炉、碳化硅高温激活/氧化炉、MOCVD、LPCVD等半导体CVD设备的国产化开发及生产，拥有以博士为核心的研发和管理团队。目前，8英寸碳化硅外延生长设备已成功研发并实现批量销售。

作为晶盛机电碳化硅外延、LPCVD等下游CVD设备的项目基地，求是半导体是晶盛在半导体设备产业链布局延伸的关键一环，依托“浙江省博士后工作站”“浙江省高新技术企业研发中心”等研发平台，坚持自主研发和科技创新，打造自主可控的设备产业链、供应链体系，在半导体行业发挥链主作用，与合作伙伴创新协同，赋能行业发展，致力于打造全球技术及规模双领先的半导体装备基地。

此次美晶新材和求是半导体成功入选国家级专精特新“小巨人”企业，是对晶盛机电在智能制造研发实力、产品性能和市场效益的充分认可与肯定，彰显了公司在技术创新和市场拓展方面的卓越实力。未来，晶盛机电始终坚持“先进材料、先进装备”的发展战略，继续聚焦主业，精耕细作，以创新驱动高质量发展，为产业链供应链的自主可控、安全高效提供源源不断的内生动力。