晶盛机电:下属公司首批6款隔膜阀实现量产 标志着隔膜阀国产化获阶段性成果
5月19日,由晶盛机电子公司晶鸿精密与日本primet合资成立的绍兴普莱美特真空部件有限公司成立1周年之际,跨国合作的第一批国产半导体真空阀门产品——6款隔膜阀闪耀亮相。4月份,首批6款隔膜阀通过客户认证,实现量产。这标志着隔膜阀国产化取得阶段性成果,为国内半导体真空市场提供更优质的产品,打造半导体核心精密真空阀门部件国产化基地迈出重要一步。据悉,中芯集成、七星流量计、美国应用材料、日本东京电子等国内外客户参加了发布会。(来源:证券时报)