场发射扫描电镜是电子显微镜的一种，其原理是利用二次电子或背散射电子成像，对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察，同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析。具体如下：

1.电子源

使用场发射电子枪作为电子源，通过强电场使金属的电子脱离束缚，形成高亮度、高相干性的电子束。

2.电子光学系统

电子束经过一系列的电磁透镜和光阑进行聚焦、偏转和整形，终形成一个细小的探针。

3.扫描系统

扫描线控制电子東在样品表面进行逐行扫描，与样品相互作用产生二次电子、背散射电子等信号。

4.信号检测与成像

配备多种探测器收集不同种类的信号，并经过放大、处理后生成反映样品表面形貌、结构和成分信息的图像。

5.真空系统

维持局真空环境以确保电子東能够在样品表面产生足够的信号，并防止电子枪和样品受到污染。

总之，场发射扫描电镜一种高分辨率的电子显微镜，它采用尖端肖特基热场发射技术，具有许多优势和广泛的应用领域。以上是仪器的工作原理，供参考。