近日，安捷伦公司发布CombiNEG吸气剂复合型离子泵。该泵可以以最高速度和最大容量处理甲烷、氩气和氦气等惰性气体，大大增强了超高真空时离子泵的抽气能力，为超高真空、极高真空系统的设计提供了新的选择。

CombiNEG系列采用安捷伦科技的StarCell离子泵抽气单元和赛斯的烧结型非蒸散型吸气剂。该系列最大可复合2000L/s的吸气剂泵，其开启工作时可将前级泵隔离封闭抽气，可靠性高，所需电流极小，对环境磁场的影响也很小，并且无油无振动，适合粒子加速器、表面科学仪器和设备等需要超高真空、极高真空的系统。