近日，浙江省计量院戚海洋博士承担的“基于声表面波技术快速无损检测低介电常数材料的机械特性的应用基础研究”获批2021年度浙江省科技厅公益技术应用研究项目。

低介电常数材料（low-k）在传感器、纳米技术和微电子等领域都有着广泛的应用，但其较差的机械特性制约了材料的应用。目前，关于low-k材料机械特性的表征还存在表征结果不准确，有损，测试时间长，测试设备昂贵、尺寸较大等问题。近日，省计量院戚海洋博士承担的“基于声表面波技术快速无损检测低介电常数材料的机械特性的应用基础研究”获批2021年度浙江省科技厅公益技术应用研究项目。

“基于声表面波技术快速无损检测低介电常数材料的机械特性的应用基础研究”项目将基于超声表面波技术，深入研究low-k材料机械特性的在线无损表征，拟解决low-k材料机械特性计量检测中相应的关键科学问题和技术难点。成果可服务于low-k材料研发和生产中的检测需求，实现在线检测，提高检测准确性，降低检测造成的损失。课题契合我省打造“互联网+”、生命健康、新材料三大科创高地思路，对我国集成电路行业和信息技术产业的发展具有重要意义。