| 公司名： | 成都汉普升科技有限公司 |
| 联系人： | 胡(先生) |
| 电话： | 028-88423503 |
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| 地址： | 四川成都 四川省成都经济技术开发区（龙泉驿）车城西二路288号派瑞国际4栋5楼 |
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●本设备主要用于半导体刻蚀，能够兼容离子束刻蚀和反应离子刻蚀功能，使用气态化学刻蚀剂与材料产生反应来进行刻蚀，并形成可从衬底上移除的挥发性副产品，通过真空系统排出，特别适合刻蚀熔融石英、硅、光刻胶、聚酷亚胺( PI) 薄膜、金属等材料。
